機(jī)器視覺在半導(dǎo)體中的應(yīng)用
出處:JIANG555 發(fā)布于:2011-09-01 09:57:42
機(jī)器視覺就是用機(jī)器代替人眼來做測量和判斷。機(jī)器視覺系統(tǒng)是指通過機(jī)器視覺產(chǎn)品(即圖像攝取裝置,分 CMOS 和CCD 兩種)將被攝取目標(biāo)轉(zhuǎn)換成圖像信號,傳送給專用的圖像處理系統(tǒng),根據(jù)像素分布和亮度、顏色等信息,轉(zhuǎn)變成數(shù)字化信號;圖像系統(tǒng)對這些信號進(jìn)行各種運(yùn)算來抽取目標(biāo)的特征,進(jìn)而根據(jù)判別的結(jié)果來控制現(xiàn)場的設(shè)備動作。
半導(dǎo)體(semiconductor),指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體(conductor)與絕緣體(insulator)之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測溫上有著廣泛的應(yīng)用。
客戶要求
經(jīng)過光刻的晶圓在檢測后會發(fā)現(xiàn)大量的壞品,壞品通常是打上標(biāo)志,如果是不完整的晶片也是屬于壞品。
要求把良品檢測出來,并把它的坐標(biāo)位置與角度傳送給運(yùn)動機(jī)構(gòu),再由機(jī)械結(jié)構(gòu)作出進(jìn)一步的調(diào)整。CCD、鏡頭、光源由固定座固定不需要移動。
實(shí)現(xiàn)方式
硬件:CCD采用臺灣敏通高清晰度相機(jī)
圖像采集卡采用創(chuàng)科視覺的PCI2100圖像采集卡,隨卡帶有圖象定位軟件。
鏡頭使用COMPUTAR鏡頭
光源是環(huán)形紅光
軟件:采用創(chuàng)科視覺公司的ckvision軟件開發(fā)包進(jìn)行二次開發(fā)。
ckvision提供多種功能
條形碼讀出
輪廓識別
普通物體識別
模式匹配
斑點(diǎn)檢測
邊緣檢測
表面分析
快速傅利葉轉(zhuǎn)換
坐標(biāo)跟蹤
目標(biāo)定位
條碼識別
各種圖象邏輯運(yùn)算
OCR光學(xué)字符號識別
圖象形態(tài)分析
實(shí)現(xiàn)過程
因?yàn)榭蛻粜枰覀兲峁﹫D像方面的DLL庫,只需要圖象采集、打開保存、圖象捕捉、顯示圖象、在圖象上顯示用戶設(shè)置的檢測框與十字線、提供灰度直方圖、二值化功能、對象計(jì)數(shù)、對象中心和角度的輸出、檢測壞點(diǎn)、檢測是否完整等功能。
開發(fā)工具采用VC6、為了加快運(yùn)行速度嵌入了Intel匯編指令,為了達(dá)到更好的檢測效果我們對ckvision的工具進(jìn)行了部分修改。
壞點(diǎn)檢測與是否完整檢測使用具有學(xué)習(xí)功能的匹配算法,對象中心與角度的檢測使用了
輪廓識別和邊緣檢測算法。
應(yīng)用效果
目前該圖象庫已經(jīng)得到了多家客戶的使用與測試。功能已經(jīng)得到了完整的改善,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)。
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