VMOS管的結(jié)構(gòu)和輸出特性曲線
出處:mohanwei 發(fā)布于:2011-06-02 09:30:35 | 7700 次閱讀
根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同,管分為兩大類:
VMOS管,即垂直導電V形槽MOS管;
VDMOS管,即垂直導電雙擴散MOS管。
它們的結(jié)構(gòu)分別如圖1-15(a)、(b) 所示,其中(a)為VVMOS結(jié)構(gòu)剖面圖,(b)為VDMOS結(jié)構(gòu)剖面圖。下面以VVMOS結(jié)構(gòu)為例,說明一下VMOS管的構(gòu)成。

獲得垂直溝道的一種方法是形成穿入硅表面的V形槽,開始時在N+襯底上生成一個N-外延
層,在此外延層內(nèi)進行摻雜頗輕的P型溝道體擴散,隨后是N+源區(qū)擴散。然后刻蝕出V 形槽,并使它延伸進入到N-外延層內(nèi)。生長氧化掩蓋層。再通過金屬化提供柵極及其它所需的連接。包括N+源區(qū)與P溝道體之間的連接。
按導電溝道劃分,VMOS管可分為N溝道型和P溝道型兩種,可與雙極晶體管的npn型和pnp型相對應。
作為一個例子,圖1-16 畫出N溝道增強型VMOS管的輸出特性曲線。從形狀上看,它與雙極晶體管的輸出特性相似。但內(nèi)含不一樣,這是由VMOS管的基本特性決定的。VMOS管輸出特性中的每一條曲線是以柵源電壓Ugs為參變量畫出的,面雙極晶體管輸出特性的每一條曲線是以基極電流Ib為參變量畫出的。

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