當(dāng)導(dǎo)體在磁場中運動時，會引起導(dǎo)體上閉合的感生電流ie，稱為渦流。渦流大小與導(dǎo)體電阻率ρ、磁導(dǎo)率μ以及產(chǎn)生交變磁場的線圈與被測體之間距離x，線圈激勵電流的頻率f有關(guān)。渦流穿透深度h可表示

　　ρ—導(dǎo)體電阻率（Ω·cm）；
　　μr—導(dǎo)體相對磁導(dǎo)率；
　　f—交變磁場頻率（Hz）。
　　可見，渦流穿透深度h和激勵電流頻率f有關(guān)，所以渦流傳感器根據(jù)激勵頻率可分為高頻反射式或低頻透射式兩類。而目前高頻反射式電渦流傳感器應(yīng)用廣泛。 下面將介紹高頻反射式電渦流傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理。
　　高頻反射式電渦流傳感器由一個固定在框架上的扁平圓形線圈構(gòu)成。線圈可以粘貼于框架上，也可以在框架上開一條槽溝，將導(dǎo)線繞在槽內(nèi)。下圖為CZF1型渦流傳感器的結(jié)構(gòu)原理，它采取將導(dǎo)線繞在聚四氟乙烯框架窄槽內(nèi)，形成線圈的結(jié)構(gòu)方式。

　　1 線圈 2 框架 3 襯套 4 支架 5 電纜 6 插頭
　　傳感器線圈由高頻信號激勵，使它產(chǎn)生一個高頻交變磁場φi，當(dāng)被測導(dǎo)體靠近線圈時，在磁場作用范圍的導(dǎo)體表層，產(chǎn)生了與此磁場相交鏈的電渦流ie，而此電渦流又將產(chǎn)生一交變磁場φe阻礙外磁場的變化。從能量角度來看，在被測導(dǎo)體內(nèi)存在著電渦流損耗（當(dāng)頻率較高時，忽略磁損耗）。能量損耗使傳感器的Q值和等效阻抗Z降低，因此當(dāng)被測體與傳感器間的距離d改變時，傳感器的Q值和等效阻抗Z、電感L均發(fā)生變化，于是把位移量轉(zhuǎn)換成電量。這便是電渦流傳感器的基本原理。