從國際劃片機(jī)發(fā)展過程來看，從Ф150mm到Ф200mm，僅提高1μm，但這是在行程增大的條件下提高的，對(duì)導(dǎo)軌、絲杠等機(jī)械部件的及變形要求極嚴(yán)，要確保劃切和芯片安全，決不允許有誤差積累，因此，只能選擇閉環(huán)控制。要在不影響或盡量小地影響效率的前提下實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，必須采用高速高定位及其控制系統(tǒng)。高效能、快速響應(yīng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)Ф200mm硅片尺寸大、密度高、劃切刀痕小，因此，它對(duì)各方向動(dòng)態(tài)響應(yīng)和靜態(tài)穩(wěn)定性都有極高的要求，而各方向運(yùn)行的速度曲線也比較特殊。在做圖像對(duì)準(zhǔn)時(shí)，各運(yùn)動(dòng)方向的動(dòng)態(tài)響應(yīng)、運(yùn)動(dòng)速度和都直接影響到自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的準(zhǔn)確性、對(duì)準(zhǔn)效率和硅片的對(duì)準(zhǔn)通過率。

　　全自動(dòng)劃片機(jī)一般由主機(jī)部分、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)上下片和自動(dòng)清洗4個(gè)單元組成，其部分是主機(jī)。HP-821精密自動(dòng)劃片機(jī)是作為全自動(dòng)劃片機(jī)的主機(jī)部分進(jìn)行研制的，已具有雙軸劃切和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能，并留有其他配套部分的軟硬件接口，具備良好的可擴(kuò)展性。該機(jī)的研制成功，在為生產(chǎn)線提供一種Ф200mm自動(dòng)劃片機(jī)的同時(shí)，為Ф200mm全自動(dòng)劃片機(jī)的整機(jī)研制奠定了基礎(chǔ)。 

　　分子束外延 分子束外延技術(shù)(L-MBE)是近年來發(fā)展的一種先進(jìn)的薄膜生長技術(shù), 在氧化鋅薄膜生長的研究中因其獨(dú)特的優(yōu)越性顯示出越來越強(qiáng)的競爭力.在討論ZnO薄膜基本特性的基礎(chǔ)上, 較為詳細(xì)地論述了激光分子束外延技術(shù)及其在氧化鋅薄膜制備中的應(yīng)用和取得的新進(jìn)展. 

　　成像系統(tǒng) PHOTO-CHROM是全新的薄層成像系統(tǒng)，無需電腦即可打印輸出。圖象可以儲(chǔ)存在軟盤中（3張TIFF或BMP圖片，或30張JPEG圖片），再轉(zhuǎn)移到電腦中。系統(tǒng)帶PHOTO-CHIROMRF分析軟件，可以和PC機(jī)整合 
　　氣體過濾器 氣體過濾器系高壓級(jí),使用于空氣,氮?dú)獾冉橘|(zhì).用于濾去氣體中固體顆粒.具有重量輕,易于安裝,通氣流量大等特點(diǎn). 

　　液體過濾器 一種液體過濾器裝置，包括一具有入口、出口的筒體，于該出口處設(shè)有蓋體，該筒體中設(shè)有至少兩組磁鐵單元，該磁鐵單元由多個(gè)磁鐵組合而成，且相鄰之磁鐵單元相對(duì)面具有相同磁極性，于該筒體中磁鐵單元后裝置有過濾單元，該過濾單元由可透析液體之濾網(wǎng)片設(shè)成筒狀。本實(shí)用新型亦可過濾液體中之鐵質(zhì)異物并使液體中之水軟化。 
　 
　　油過濾器 油液污染是系統(tǒng)故障的主要原因，它會(huì)降低系統(tǒng)性能、縮短零部件壽命、增加換油次數(shù)和延長停機(jī)時(shí)間，給系統(tǒng)正常運(yùn)行帶來極大的負(fù)面影響。油過濾器用來對(duì)油液進(jìn)行合理有效過濾與凈化來控制油液污染。 

　　擴(kuò)散片 LCD 光擴(kuò)散片
　　75PBA, 100PBU, 100S,
　　100SXE, 100MXE, 100LSE,
　　100GM2, 100TL2, 100TL4,
　　125TD3 
　　LCD 光反射片
　　RW125, RW188,
　　GR38W, RW75CB, RWX3T
　　
　　LED 光擴(kuò)散片
　　MTN-R1, MTN-G2
　　MTN-W1, MTN-W2
　　MTN-W4, MTN-W5
　　MTN-WX5, MTN-W7, 
　　MTN-W8
　　D101, D105, D202
　　D204, D206, D207